我們經(jīng)常談?wù)撏ㄟ^密切關(guān)注空氣中的顆粒來監(jiān)測潔凈室的潔凈度。但是，當(dāng)空氣中的顆粒不再通過空氣中傳播時會發(fā)生什么呢？這就是我們所說的粒子沉積。當(dāng)顆粒沉積時，它會在潔凈室中造成污染和混亂。因此，了解什么是顆粒沉積、它是如何發(fā)生的以及如何在潔凈室中最大限度地減少或防止顆粒沉積非常重要。當(dāng)顆粒沉積在表面上時，就會發(fā)生表面顆粒沉積。從本質(zhì)上講，粒子在空氣中移動，更接近物體，直到進(jìn)入“邊界層”。這是直接圍繞物理對象的空氣層。有各種類型的機(jī)制將粒子從邊界層轉(zhuǎn)移到表面。在潔凈室中，我們一直在監(jiān)測空氣中的顆粒物。這是我們監(jiān)測清潔度的主要重點。但這意味著我們無法如此密切地監(jiān)測表面顆粒。但這些顆粒也會在我們的潔凈室中造成污染和干擾。因此，我們需要注意顆粒沉積以及如何防止它，以限制潔凈室中的污染。顆粒沉積機(jī)制是顆粒穿過邊界層沉積在表面上的一種方式。機(jī)制有八種：重力沉降、湍流沉積、靜電吸引、布朗擴(kuò)散、撞擊、截留、渦輪電泳和熱泳。
為了確定潔凈室中最重要的機(jī)制，我們將研究通過關(guān)鍵觀察和實驗開發(fā)的一組數(shù)據(jù)。在這個實驗中，我們使用了一個地板尺寸為6米乘4.2米的非UDAF潔凈室。墻高2.7m，體積67.5m3。天花板上的九個風(fēng)扇過濾裝置供應(yīng)空氣。每臺風(fēng)機(jī)供應(yīng)450m3/小時。僅使用兩個風(fēng)扇單元來確保顆粒沉積速率（PDR）足夠高，以便完成實驗并獲得更高的顆粒濃度。他們提供的總供氣量為900m3/小時，換氣率約為13次/小時。
雖然我們在潔凈室中看到了這些機(jī)制中的每一種，但最重要的是重力沉降、湍流沉積，在某些情況下還有靜電吸引。對于小于約 0.5μm 的顆粒，布朗擴(kuò)散也起了作用。由于粒子沉積發(fā)生在粒子從邊界層轉(zhuǎn)移到表面時，因此防止粒子沉積的方法是停止轉(zhuǎn)移。因此，了解我們在潔凈室中最常看到的顆粒和傳輸機(jī)制非常重要。引力沉降是指粒子由于重力的影響而沉降到表面上。對于較小的顆粒，這種情況發(fā)生得非常緩慢。例如，一個 0.5μm 的顆粒將以大約 0.0008 cm/s 的速率沉降。隨著顆粒尺寸的增加，沉積速度與顆粒直徑的平方成正比。在較大的顆粒中，這是主要機(jī)制。當(dāng)空氣湍流將顆粒沉積在表面上時，就會發(fā)生湍流沉積。當(dāng)空氣湍流更多時，更多的顆粒會沉積到表面上。最后，靜電吸引是指具有相反電荷表面的粒子被拉在一起。大多數(shù)空氣中的粒子和表面都有某種形式的電荷，因此我們確實看到了這一點。但由于潔凈室結(jié)構(gòu)的性質(zhì)，我們只能在某些情況下看到它。從一開始就阻止顆粒進(jìn)入潔凈室首先，確保在顆粒進(jìn)入潔凈室之前將其阻止。我們經(jīng)常看到大多數(shù)顆粒與人類一起進(jìn)入，因此請仔細(xì)檢查您的防護(hù)服協(xié)議并進(jìn)行定期培訓(xùn)。還要監(jiān)測空氣中的顆粒物，以確保您的潔凈室保持清潔。如果空氣中沒有顆粒，它們就不會沉積在表面上并造成污染。策略性地分層表面：一般來說，潔凈室的設(shè)計可以避免關(guān)鍵表面出現(xiàn)較大的靜電荷。這最大限度地減少了電磁粒子的吸引。您還可以通過使用電接地材料來最大限度地減少吸引力。正因為如此，在實驗過程中，我們發(fā)現(xiàn)引力沉積是主要機(jī)制。因為它是主要機(jī)制，所以可以假設(shè)分層在另一個表面上的板會保護(hù)第二個表面。我們在潔凈室中經(jīng)常看到這種保護(hù)方法。然而，我們?nèi)匀辉诘酌嫔峡吹搅祟w粒沉積。這是由于頂板和底板上方的空氣湍流造成的。因此，我們看到了粒子在兩個表面上的湍流沉積。因此，在設(shè)計表面時，重要的是要認(rèn)識到底板將受到保護(hù)，不會受到靜電吸引或湍流沉積的影響。設(shè)計您的潔凈室時，不僅要考慮重力沉降。定期清潔表面與進(jìn)行表面顆粒物監(jiān)測雖然這可能無法防止顆粒沉積，但它是處理沉積后果的重要方法。表面上的顆粒會導(dǎo)致污染，并對您的潔凈室內(nèi)容物構(gòu)成風(fēng)險。因此，使用潔凈室安全產(chǎn)品定期擦拭表面。Lighthosue提供表面塵埃粒子監(jiān)測方案，采用表面掃描探頭+便攜式塵埃粒子計數(shù)器方式進(jìn)行表面顆粒檢測，如下：
